最先端半導体の国産化を目指すRapidus（ラピダス）は、世界最先端の2ナノ世代プロセスの工場を建てることを目標としている。ラピダスは、AI（人工知能）半導体メーカー主な顧客層として想定しており、ウエハーを1枚ずつ処理する全枚葉式を戦略に据え、どこよりも速い半導体製造を可能にするという。

半導体製造装置の方式には、ウエハーを1枚ずつ処理する枚葉式と、大量のウエハーを一度に処理するバッチ式がある。これまでの半導体製造では、枚葉式とバッチ式の装置を工程ごとに分けて採用する場合が多かった。ラピダスは、リードタイムを短縮するためには、枚葉式に統一する。

ＳＣＲＥＥＮ ＨＤは、半導体製造装置の新工場「S3-5（エス・キューブ ファイブ）」が完成した。総工費は80億円で、2024年1月に操業を開始し、主力製品である枚葉式洗浄装置の生産を開始する。枚葉式洗浄装置では、日本のシェアは、ＳＣＲＥＥＮ ＨＤと（8035）東京エレクトロンの合計で、枚葉式洗浄装置（61％）、バッチ式洗浄装置（91％）と見られる。ＳＣＲＥＥＮは、ＴＳＭＣ向けが多い。

ラピダスには、トヨタ自動車やソニーグループなど国内主要企業8社が出資している。経産省は700億円の支援を決定していたが、2600億円追加支援を合わせると、3300億円が補助される。日本が国内で製造できるのは40ナノ世代までだが、ＴＳＭＣや韓国のサムスン電子が量産技術を確立している3ナノ世代を飛び越えて、一気に2ナノ世代の量産化を目標としているようだ。世界で初めて2ナノ半導体の開発技術を発表したＩＢＭから2ナノの製造ノウハウを習得する。