株テーマ:半導体エッチング装置の関連銘柄
エッチング装置とは、薬液や反応ガス、イオンの化学反応を使って、薄膜の形状を化学腐食、蝕刻加工する装置。米ラムリサーチの存在が特に大きく、ドライエッチング装置市場に限れば、市場の半分ほどを占めるシェアを持つ。エッチング装置に関してはラムリサーチやアプライドマテリアルズ、東京エレクトロンが主なプレイヤー。
東京エレクトロンのエッチング装置の世界シェアは2割強だ。シェアは35年までに35%に拡大する可能性がある。東京エレクトロンは、3次元NAND型フラッシュメモリー向けの垂直方向の穴を掘る工程で画期的な新技術を開発。これまで米ラムリサーチが独占してきた工程で、シェアを奪えれば業績貢献は大きい。
サムコの半導体製造装置はCVD、エッチング、洗浄装置が3本柱。芝浦メカトロニクスは、洗浄、真空、成膜、エッチングなどの装置を開発している。