株テーマ:クリーンルームの関連銘柄
クリーンルームとは、一定の条件下で不純物を取り除いた環境を保つように設計された部屋で、半導体工場など精密機器の製造現場や、結果に影響をおよぼす検査・研究などの現場において使用される。
半導体工場や精密機械工場では、高い清浄度が求められるため、クリーンルーム上部のファンから清浄な空気を一方向に流す垂直一方向流方式が採用されていることが多い。専用のパーテーションで壁と天井が構成されており、超高性能なフィルター「HEPAフィルター」を介して空気を供給する仕組みとなっている。HEPAフィルターは0.3μm以上の大きさの微粒子を99.99%捕集する性能がある。
ダイフクは、半導体、液晶パネル製造の自動化に欠かせないクリーンルーム向けAMHS(Automated Material Handling System)を世界中のユーザーに納入している。