ほとんどの半導体製造企業は、洗浄工程で、枚葉式とウエハーを一度に大量に処理するバッチ式を混合しているが、ラピダスは全てのウエハーを1枚ずつ処理し、製造効率を高める「全枚葉式」を採用する。半導体を、速く精密に製造できることが特徴だが、コスト面で不利と言われている。

ラピダスは、全枚葉式は、枚葉・バッチ式混合の従来方式と比べても、製造コスト差は大きくならないとしている。枚葉式の製造装置でそろえたラインで、あらゆる装置が24時間休みなく稼働することで、それほど高価にはならないようだ。

（6228）ジェイ・イー・ティは、ラピダスから受託した新型枚葉式洗浄装置の開発を完了し、建設中の最先端ロジック半導体を製造する施設・ＩＩＭ（イーム）半導体製造ラインへの納入を目指している。

ただし、パイロットラインへの納入であり、今後の拡張や他のメーカーが全枚葉式を採用した場合、ＳＣＲＥＥＮ HDが優位となる可能性がある。ＳＣＲＥＥＮ HDの主要顧客はTSMCだ。