台湾のＴＳＭＣが世界で初めてＥＵＶ(極端紫外線)露光を採用した7nm（ナノ）プロセス製品の量産を開始し、7nm（ナノ）も2020年第1四半期から生産を開始、20年末から量産を開始すると発表している。アップルが20年のｉＰｈｏｎｅ新機種向けにＥＵＶ半導体を採用することを決めており、ＴＳＭＣはＥＵＶ露光装置やマスク関連装置の投資を増やし、7−9月期には77億ドルを発注している。ＴＳＭＣが発注を前倒ししたため、韓国サムスン電子が求める装置納入が間に合わないメーカーも出ているようだ。