株テーマ:枚葉式半導体洗浄装置の関連銘柄
・枚葉式半導体洗浄装置
(6228)ジェイ・イー・ティは、ラピダス向けに枚葉式でリン酸を使うプロセスを取り入れた新タイプの試作装置を開発する。短TAT製造技術の研究開発に貢献する。
ジェイ・イー・ティは、ラピダスから受託した業務の基礎研究開発業務を完了し、新たな研究開発業務の 2024 年度の計画と予算の承認を受けたと、発表した。試作装置製作に関する研究開発業務としており、詳細は公表されないが、枚葉式洗浄装置関連と見られる。建設中の最先端ロジック半導体を製造する施設・IIM(イーム)半導体製造ラインへの当社装置の納入を目指すとしている。