株テーマ：枚葉式半導体洗浄装置の関連銘柄
・枚葉式半導体洗浄装置
枚葉式半導体洗浄装置とは、半導体製造プロセスにおいて、1枚ずつウェハーを洗浄する装置のことだ。従来のバッチ式洗浄装置と異なり、個別のウェハーを処理するため、より精密な洗浄が可能であり、次世代の微細化プロセスに適している。特に、ロジック半導体の最先端プロセスでは、微細なパターンの汚染を防ぐために重要な技術となっている。
ラピダスは、日本政府や主要企業の支援を受け、最先端の2nm半導体の量産を目指している企業だ。このような微細プロセスでは、ナノレベルの汚染管理が極めて重要となり、枚葉式洗浄装置の導入が不可欠とされる。特に、EUV（極端紫外線）リソグラフィ技術を活用する場合、フォトレジストの洗浄工程が厳格になるため、精密な枚葉式洗浄装置の需要が高まっている。
・枚葉式半導体洗浄装置関連銘柄
（6228）ジェイ・イー・ティは、ラピダス向けに枚葉式でリン酸を使うプロセスを取り入れた新タイプの試作装置を開発する。短TAT製造技術の研究開発に貢献する。
ジェイ・イー・ティは、ラピダスから受託した業務の基礎研究開発業務を完了し、新たな研究開発業務の 2024 年度の計画と予算の承認を受けたと、発表した。試作装置製作に関する研究開発業務としており、詳細は公表されないが、枚葉式洗浄装置関連と見られる。建設中の最先端ロジック半導体を製造する施設・ＩＩＭ（イーム）半導体製造ラインへの当社装置の納入を目指すとしている。
（7735）SCREENホールディングス
世界トップシェアを誇る半導体洗浄装置のリーディング企業。枚葉式で35%、バッチ式で58%の市場占有率を維持。2025年現在、毎時1,200枚の処理能力を実現した「SU-3400」を主力製品として展開し、フットプリント30%削減と環境負荷20%低減を達成。彦根事業所に新工場を建設し生産能力拡充中。
（6590）芝浦メカトロニクス
前工程用枚葉式ウェーハ洗浄装置を手掛ける技術系企業。フォトマスク洗浄装置など特殊領域で強みを発揮5。微細加工技術に対応した高精度洗浄ソリューションを提供。
