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2024/6/17 05:43
(4188) 三菱ケミカルグループ 半導体材料「リソマックス」の生産能力を2倍以上に増強
三菱ケミカルグループは、福岡県北九州市に半導体材料の新工場を新設する計画を発表した。投資額は数十億円にのぼり、2025年秋の稼働を目指す。
新工場は北九州市の九州事業所に設けられる予定で、空いている建屋を活用することで投資費用を抑える見込み。この新工場の目的は、半導体材料「リソマックス」の生産能力を2倍以上に増強することに加え、最先端の極端紫外線(EUV)レジストの初の量産化を実現することだ。
「リソマックス」は、半導体の回路を形成する工程で使用されるレジストの主成分となる樹脂であり、微細な回路形成に利用されるArF(フッ化アルゴン)レジスト向けの生産が2025年10月から開始される予定。また、次世代半導体製造に不可欠なEUVレジスト向けの製造も2025年9月から開始される予定。
これまで半導体材料の生産は横浜市の事業所で行われていたが、新たな生産拠点として九州事業所が選ばれた。この選択により、既存の施設を活用しながら新たな設備を設けることで効率的な投資が可能となる。
販売先としては、JSRや東京応化工業といった感光剤メーカーが含まれており、日本勢が世界シェアの9割を占める市場での供給を目指す。
新工場は北九州市の九州事業所に設けられる予定で、空いている建屋を活用することで投資費用を抑える見込み。この新工場の目的は、半導体材料「リソマックス」の生産能力を2倍以上に増強することに加え、最先端の極端紫外線(EUV)レジストの初の量産化を実現することだ。
「リソマックス」は、半導体の回路を形成する工程で使用されるレジストの主成分となる樹脂であり、微細な回路形成に利用されるArF(フッ化アルゴン)レジスト向けの生産が2025年10月から開始される予定。また、次世代半導体製造に不可欠なEUVレジスト向けの製造も2025年9月から開始される予定。
これまで半導体材料の生産は横浜市の事業所で行われていたが、新たな生産拠点として九州事業所が選ばれた。この選択により、既存の施設を活用しながら新たな設備を設けることで効率的な投資が可能となる。
販売先としては、JSRや東京応化工業といった感光剤メーカーが含まれており、日本勢が世界シェアの9割を占める市場での供給を目指す。