ＳＣＲＥＥＮ HDは、半導体製造の各工程の前後にゴミを取り除く「洗浄装置」の世界シェア4割のトップメーカーだ。ゴールドマンサックスが選定した「七人の侍」のうちの1社に選ばれている。元々は写真印刷用のガラス板の国産化を目指していた。

洗浄は500以上ある半導体製造工程の3割を占めるという。最新の枚葉式洗浄装置「SU3400」を投入したことで、世界中の半導体製造ラインで稼働を始めた。1時間当たり30センチのウエハーを1200枚洗浄可能という世界最高レベルの生産性を達成している。さらに、ウエハー1枚あたりに必要な薬液を25％減、水30％減、エネルギーの消費を40％以上削減している。

洗浄工程ではバッジ式と枚葉式を使い分けているが、ラピダスが全行程に枚葉式の導入を目指している。微細化されても今までと同等の洗浄能力が維持できるかが、勝負の分かれ目だが、ＳＣＲＥＥＮ HDがトップランナーである事は間違いない。