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2023/5/1 10:30
AGCは、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力増強を決定した。2024年1月より稼働を開始し、EUVマスクブランクス生産能力は2025年に現在の約30%増となる。AGCは、「ガラス材料」から「コーティング」までを一貫して手掛けることができる、世界で唯一のEUVマスクブランクスメーカーで、複数のロジックおよびメモリー半導体メーカーに採用されている。2025年には売上高400億円以上を目指す。
EUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したもの。EUVマスクブランクスの表面に半導体チップの回路原版を形成したものがEUVフォトマスクであり、その回路をシリコンウェハ上に転写して半導体チップを形成する。
EUVマスクブランクスは2020年から2027年までの期間で、世界市場規模が年平均約15%成長し、2027年には約47億米ドルに達すると予測されている。
EUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したもの。EUVマスクブランクスの表面に半導体チップの回路原版を形成したものがEUVフォトマスクであり、その回路をシリコンウェハ上に転写して半導体チップを形成する。
EUVマスクブランクスは2020年から2027年までの期間で、世界市場規模が年平均約15%成長し、2027年には約47億米ドルに達すると予測されている。