（5332）TOTOが、半導体製造装置向けセラミック事業で急成長を遂げている。同社の主力製品である「静電チャック」が、半導体製造プロセスにおける重要な部品として注目を集めている。

静電チャックは、半導体製造時にシリコンウェハーを固定するためのセラミックス部品だ。TOTOの静電チャックは、材料からの一貫した管理による高い耐久性と低パーティクル性能を実現している。また、高い設計力と解析技術、高精度加工により、最先端の半導体製造プロセスに貢献しており、世界の顧客から高い評価を受けている。

半導体市場の成長を追い風に、TOTOは静電チャックの生産能力拡大に積極的に投資している。2018年には、約118億円を投じて新工場棟を建設し、2020年10月から稼働を開始した。この新工場では、IT技術を駆使したスマートファクトリー化も実現し、生産性の向上を図っている。

TOTOのセラミック事業の売上の80%は海外向けであり、ICT機器の小型化・高性能化・低消費電力化・高精細化の要求に対応してきた。今後も半導体製造装置の需要増加が見込まれる中、TOTOは更なる事業拡大を目指している。

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