（6361）荏原製作所の半導体製造装置関連事業が好調な業績を示している。特に、同社が世界シェア2位を誇る化学的機械研磨（CMP）装置が注目を集めている。荏原は、CMP装置市場において37.0%のシェアを占め、世界第2位の地位を確立した。市場首位は米国のアプライドマテリアルズで52.6%のシェアを持つ。

荏原は、熊本県南関町の熊本事業所に3棟目となる新生産棟を完成させた。2025年の生産開始に向け、準備が大詰めを迎えている。CMP装置は中長期で需要拡大が見込まれ、最大で現在の1.5倍の能力を確保する見込みだ。

世界のCMP装置市場規模は2021年に50億米ドルだったが、2030年には90億米ドルに拡大すると予測されている。年平均成長率（CAGR）は7%だ。

荏原が世界で初めて考案した「ドライイン／ドライアウト」コンセプトも、CMP市場拡大の要因となった。これにより、装置内で研磨・洗浄・乾燥まで行うことが可能となり、クリーンルーム内にCMP装置を設置できるようになった。