ＩＭＥＣは、ベルギーに本拠を置く研究機関であり、主にマイクロエレクトロニクスおよびナノテクノロジーの分野で活動している。ＩＭＥＣは、産業界や研究機関との協力により、革新的な技術とソリューションを提供しており、ＩＭＥＣと日本企業との協力プロジェクトや連携が存在する可能性があります。

ＩＭＥＣとラピダスは、2020年から共同で次世代半導体製造技術の研究開発を進めており、連携強化により、2ナノメートル以下の微細プロセス技術の開発を加速させる。ＩＭＥＣは世界中に600以上の研究パートナーがいるが、そのうち60以上が日本の企業や研究機関で、その多くが、卓越した技術力を持つ半導体製造装置や材料メーカーだ。

ＩＢＭはラピダスに2nmデバイスの『ベースライン』となる技術を提供し、ＩＭＥＣは、ＡＳＭＬと過去30年以上にわたって露光装置の実用化に関する共同研究を行ってきた実績を生かして、ラピダスがＥＵＶリソグラフィ技術を活用してスムーズに量産できるように支援する。

ＩＭＥＣは、世界で5000人を超える研究者・技術者らを抱えるが、研究所はベルギー国外ではオランダに2カ所と米フロリダ州に1カ所の計3カ所しかない。日本への研究開発拠点の設立は、東京、大阪、北海道を検討している



東京エレクトロンは、ＡＳＭＬとアイメックが共同運営する研究所に次世代装置を供給する計画を進めている。

ＪＳＲはアイメックとの合弁会社でＥＵＶ向けフォトレジストを生産するほか、大日本印刷はアイメックと共同で、次世代半導体向けフォトマスク（回路原版）の開発を進めている。

三井化学は、極端紫外線(ＥＵＶ)露光用のカーボンナノチューブ膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結した。2025年から2026年をターゲットに高出力ＥＵＶ露光向け製品の導入を目指す。


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