三菱ケミカルは、洗浄剤やエッチング材料などの
半導体材料の開発・生産体制を強化する。
半導体回路形成時に使用される
フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」や、ウエハー枚葉洗浄剤「AM1」、
レジスト表面に発生する電子の蓄積を防止するための
フォトマスク帯電防止剤「アクアセーブ」などを製造している。
福岡事業所に専用の試作棟を新設し、開発スピードを上げていく。5月にはGaN(
窒化ガリウム)単結晶基盤の量産実証設備も竣工させており、2022年度から市場供給を目指している。需要が増加するパワーデバイスに対応する。