前6月期売上は35.4％増の287億円、営業利益は39.7％増の79億円、純利益は35.9％増の59億円となった。ＥＵＶ（極端紫外線）向けマスクブランクス検査装置が好調で、連続最高益を更新した。今期については売上が39％増の400億円、営業利益が63.7％増の130億円、純利益を68.5％増の100億円としたことで大幅高となっている。マスクブランクス欠陥検査装置は、2年連続で「半導体・オブ・ザ・イヤー」でグランプリを受注するほど、精度には定評がある。政府が半導体材料の一部輸出を認めたため、台湾勢に加えて韓国サムスン電子もＥＵＶ（極端紫外線）半導体を生産する可能性がある。