ラピダスが導入するEUV露光装置は、その巨大さと高額さで注目を集めている。装置の価格は1台200億円以上と言われ、大きさは重量200トン、サイズ14m×4m×4mにも及ぶ巨大なものだ。

この巨大な装置は、その規模ゆえに通常の輸送手段では運べない。ジャンボ仕様の貨物専用機を使用しても、1回で運ぶことは不可能だ。実際、12月14日に第1便がオランダから新千歳空港に到着したが、これは複数回に分けて輸送される予定の一部に過ぎない。

ＥＵＶ露光装置は極端紫外線を用いてナノレベルの微細なパターンを描く技術を支える装置だ。光学系、真空装置、冷却システム、さらには振動を極限まで抑えるための機構などが盛り込まれており、「縮小」を犠牲にして性能を追求した結果、この「怪物サイズ」が誕生した。

この装置の導入により、ラピダスは2025年4月の試作ライン稼働を目指している。日本国内では初めてのEUV露光装置導入となり、先端半導体の国産化に向けた大きな一歩となる。