堀場製作所は、半導体製造工程で使用する洗浄液を高精度に検査する新装置「CS-1000」を発表した。この装置は、半導体製造装置に後付けして洗浄液の濃度や成分を高速で連続測定できる革新的なシステムだ。

CS-1000は、薬液に光を照射し、その吸収度合いから濃度などを測定する仕組みを採用している。独自の解析技術により、ppmレベルの微量成分を6秒おきに連続で測定し、品質を厳密に管理することが可能だ。

堀場製作所は、CS-1000の希望販売価格を6000万円からに設定している。2028年までに累計250台の販売を目指しており、この目標が達成されれば150億円規模の売上が見込まれる。メンテナンスは半年に一度、約4時間で済むため、生産現場のダウンタイムの削減にも貢献する。