ラピダスから固有のバッチ式処理技術取り込む洗浄装置を受託開発している。枚葉式でリン酸を使うプロセスを取り入れ、赤外線ランプで薬液を高温にするといった特殊な機能を持つ新タイプ洗浄装置と見られる。韓国工場を持つため、2兆円を投じて新工場を建設するＳＫハイニックスからの受注期待もあるようだ。

半導体ウエハー洗浄装置は、確実にバッチから枚葉に移行している。（7735）ＳＣＲＥＥＮ HDでは、枚葉式の出荷比率が7割を超えているという。最新の枚葉式洗浄装置「SU-3400」では、最大毎時1200枚の洗浄を可能にしている。ラピダスは不可能と言われた全行程での枚葉式導入を目指しており、この2社のビジネスチャンスが拡がる。また、DRAMの3次元化が始まると、洗浄装置の高度化が求められる。