エッチング装置の市場規模は2兆1038億円で、米ラム・リサーチのシェアが37.7％、東京エレクトロンが25.3％、アプライド マテリアルズが23.5％を占めている。

3次元NAND型フラッシュメモリー向けのエッチング装置市場ではラムのシェアが100％となっている。この工程は付加価値が高い上に必要な装置台数が多い。

3次元NAND型フラッシュメモリーは現在200層の製品が量産されているが、東京エレクトロンは400層以上に相当する穴を従来技術の2.5倍の速さで掘れる「チャネルホールエッチング」という技術を開発している。400層レベルでの採用は2～3年後を想定しているが、ラム・リサーチの製品に置き換われば、3000億円規模の増収効果になる可能性があると見られている。

東京エレクトロンのエッチング装置の売上高は5800億円で、3000億円増収のインパクトは大きい。