SCREENセミコンダクターソリューションズは、ナノエレクトロニクスとデジタル技術における世界有数の研究・イノベーション拠点であるimec（Interuniversity Microelectronics Centre）とサステナブルな技術開発を行うため、共同開発契約をした。2002年1月からimecに参加して以降、20年以上にわたり共同開発を継続実施し、2022年5月からは、imecが進める半導体業界全体の環境負荷低減に関する新たな研究プログラム「SSTS」にも参画している。

今回の共同開発は、幅広い開発プログラムを持つimecと、洗浄装置やコーターデベロッパーを中心とした半導体製造装置のコンセプトや実現可能性を検証し、プロセス開発を加速させる。枚葉式洗浄装置「SU-3200」をimecに納入し、imecと共同評価を行い、環境性能の高い装置を半導体業界へ提供することを目指す。