日揮グループの機能材製造事業会社である日本ファインセラミックス（ＪＦＣ）が、100億円を投じて、半導体製造装置用セラミックスおよびパワー半導体用窒化ケイ素基板を生産する新工場を建設する。一件畑違いのように見えるが、2021年度から2025年度の5か年を対象とする中期経営計画で、ファインケミカル、ファインセラミックス製品などの高機能材製造事業の拡大を重点戦略に挙げており、半導体用セラミックス製品に注力する。

ＪＦＣは6月に、半導体製造装置用セラミックス製品の高精度化およびパワー半導体用窒化ケイ素基板の増産に向けた設備投資を20億円実施することを表明していたが、炭化ケイ素や窒化ケイ素のセラミックス製品が有望とみて、さらなる設備投資に踏み切る。