信越化学は、感光材の半導体レジスト工場を2022年までに日本と台湾に新設すると、報じられている。投資額は300億円規模で、台湾での生産能力は5割、直江津工場は2割増える。台湾ＴＳＭＣの引き合いが強いため、台湾では初めてＥＵＶ用レジストを生産する。ＥＵＶ用は極めて高い感度が要求される。

韓国サムスングループトップの李在鎔副会長はオランダのＡＳＭＬを訪問した。ＥＵＶ露光装置の供給拡大を要請したとみられるが、ＡＳＭＬの生産台数は年間40台で、既に台湾ＴＳＭＣが生産量を上回る発注をかけている。一台あたり150億円程度とみられ、熾烈な受注競争を打開するために躍起となっているようだ。サムスンは5nmのＥＵＶ生産で歩留まり向上に苦労していると噂されており、日本製の高純度レジストの供給不足も一因とみられる。