ＥＵＶ（極端紫外線）露光装置時代では、フォトマスクやその材料であるマスクブランクスで、日本勢の優位が確認されている、フォトマスクとして仕上げる前の欠陥検査は非常に重要。レーザーテックは、世界で唯一ＥＵＶ光源を使って、ブランクスの欠陥検査を行える装置「ＡＢＩＣＳ」を製品化している。昨年11月には5nm世代以降の最先端マスクブランクス欠陥検査装置「ＭＡＧＩＣＳ」を発表し、半導体マスク欠陥検査装置「ＭＡＴＲＩＣＳ」とともにＥＵＶ関連のラインアップが揃っている。

高度な装置だけに受注から納入までは時間がかかり、2017年の160億円の大型受注ですら、納入は2020年以降の複数年になる。2017年末には米フォトマスクメーカー「フォトロニクス」から欠陥検査装置を受注、2018年4月には米「フォトロニクス」からも受注している。今6月期の第2四半期での受注残は43.9％増の455億円と積み上がっている。新製品は半導体メーカーのＥＵＶ体制を見極めるため受注生産だが、装置の価格は40億円程度と見られる。

株価は史上最高値水準で上昇一服だが、ＥＵＶ関連銘柄の指標として、見ておきたい。