アルバックは、半導体成膜装置の主力モデルを19年ぶりに刷新し、拡張性を高めた新製品「ENTRON-EX W300シリーズ」の販売を開始すると発表した。

新製品は、従来機ENTRONシリーズをベースに生産性向上を主目的として改良を加えた最新モデルだ。最大8プロセス（PVD、ALD、CVD等）とプラス2（Degas、Cool）モジュールを搭載可能で、拡張性が大幅に向上している。

搬送システムには新型ロボットを採用し、メカニカルスループット100wphを実現した。また、機能を拡張した制御ソフトウェアCyberCELLによって、高効率の搬送シーケンスが可能となり、生産性の向上に寄与している。

アルバックは、2025年6月期に15台から20台の販売を見込んでいる。新機種の販売開始に伴い、国内外のサービスサポートを更に充実させ、顧客満足度の向上を目指すとしている。