SCREENセミコンダクターソリューションズは、200mmウェーハ対応の新型洗浄装置「SS-3200 for 200mm」を開発し、2024年12月から販売を開始する。新装置は、同社の世界シェアNo.1を誇るスクラバ方式の枚葉式ウェーハ洗浄装置（スピンスクラバ）の新ラインアップだ。デファクトスタンダードとなっている「SS-3200」の優れた洗浄技術やチャンバー設計、搬送システムなどを200mm対応に最適化している。

業界最高レベルの処理能力を実現し、従来モデル比で3倍以上となる最大毎時500枚のハイスループットを達成した。同時に、ウェーハ1枚当たりの純水使用量を削減する。ウェーハ洗浄装置のような高度な装置の価格は、通常非常に高額であり、数億円から数十億円の範囲に及ぶことが一般的だ。

ラピダスが目指す量産化には、こうした高効率な装置が不可欠で、採用の可能性があると見られる。