小松製作所の半導体子会社で、深紫外線（DUV）を使う露光装置向けに中核機器の光源などを手掛けるギガフォトンの注目度が上がっている。EUV光源は高出力のハロゲンランプだが、DUV光源はエキシマレーザ光源が使用される。ウシオ電機との合弁事業がスタートで、この分野ではASML傘下の米サイマーとシェアを二分しているという。

ギガフォトンの売上高は585億円に過ぎないが、営業利益率は約20％で、30年までにDUV光源で60％のシェアを確保し、売上高1000億円、営業利益率25％を目指すという。売上規模は東京エレクトロンの8兆円、アドバンテストの3兆円に比べて小粒だが、世界に二つだけの企業として、存在感を高めている。

現在小山市に50億円を投じて新生産棟を建設中で、生産能力は2.5倍となる。新規販売台数は年200─300台ペースで増加し、2030年には累計で現在比倍増の4000台を見込む。