韓国パークシステムズが、ＥＵＶリソグラフィ向けマスク検査装置を開発していると報じられた。パークシステムズはＡＦＭ（原子間力顕微鏡）を利用したナノ計測機器専門企業で、独自開発の「フラットスキャン」技術をＥＵマスク検査技術に応用しているようだ。レーザーテックは電子ビームやレーザー光線などの光学技術を使用しているが、パークシステムズはＡＦＭを応用してマスク上の欠陥を探すだけでなく、欠陥を分析して改善を促すこともできるという。過去には300ミリウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定ＡＦＭを開発していた。

直ちにレーザーテックの優位性を脅かすものではないが、韓国ファウンドリーで試用し、正式な供給契約に進む可能性が報じられている。