レーザーテックは、高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA（ウラシマ）」を開発した。2019年に世界初となるEUVパターンマスク欠陥検査装置ACTIS A150をリリースしていたが、「URASHIMA」の適用を進め、ACTISのさらなる性能向上を目指す。「URASHIMA」では、高速回転する液体状のSnにレーザーを照射してEUV光を発生させる方式を採用している。ACTISの光学系に最適化した設計によって入熱を最小限に抑えることで、ペリクルの劣化を防止しながらペリクル付きマスクの高輝度照明による高感度検査を可能にした。

EUVパターンマスク欠陥検査装置ACTISシリーズでは、露光装置と同じ波長の光で検査するアクティニック検査を可能としている。