富士フイルムが、ＥＵＶ（極端紫外線）材料の感光材（フォトレジスト）に参入すると、報じられた。元々富士写真フイルムの技術を活かして、光を使って回路パターンをシリコンウェハ上焼き付けるマイクロリソグラフィ工程用のフォトレジストを製造しており、微細化、短波長化の研究も進めていた。報道では、静岡工場に45億円を投じて、21年中に量産を開始するようだ。フォトレジストはＪＳＲ、東京応化、信越化学、住友化学、富士フイルムの国内5社が主要メーカで、世界シェアの9割を握っている。市場規模は1500億円程度で、富士フイルムのシェアは10％程度とみられる。

ＥＵＶレジストは7nm世代で採用が始まり、ＤＲＡＭにも採用されることから、市場規模は急拡大する見込み。韓国に対する輸出優遇措置撤廃で話題となった材料でもあり、関連銘柄は見直し買いとなりそうだ。