沖電気工業は、超音波センサーの感度を20倍にする圧電単結晶薄膜接合技術を確立した。センサーやアクチュエーターなどの特性を決める薄膜層圧電単結晶薄膜と、酸化シリコン膜上にシリコン単結晶層を形成したＳＯＩウエハーの接合技術を確立し、超音波センサーなど圧電ＭＥＭＳデバイスの性能を飛躍的に向上させる「圧電単結晶薄膜接合ウエハー」の試作に成功した。圧電ＭＥＭＳは、半導体のシリコン基板・ガラス基板・有機材料などに、圧電要素部品のセンサー・アクチュエーター・電子回路などを集積したもの。

圧電ＭＥＭＳは、物体検知を行う超音波センサー、小型マイクやスピーカー、通信用途の高周波フィルターなどとして、多くの市場で使われている。小型化と低消費電力化が求められているため、ガラス基板、有機材料基板などへも適用し、用途を広げる。