ダイヘンは2023年3月期に半導体製造装置で使う高周波電源システムの売上高を25％増の約500億円に引き上げる。半導体製造装置向け高周波電源システムの生産拠点である鳥取のダイヘン産業機器では、様々な諸策により増産要請に応えてきたが、今後の需要拡大に対応するため、工場を増築し、第1期投資で生産能力を約1.4倍(売上高500億円相当)、第2期投資では自動検査設備の増設で生産能力約2.0倍(売上高700億円相当)も入れる。合計の投資額は40億円。

ダイヘンは関西電力など電力会社と関係が深く、変圧器に始まり溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源などへ事業展開している。高周波電源システムは半導体のエッチング工程に不可欠で需要が増大し、売上高500億円目標を1年前倒しする。なお発行済み株式総数の0.6％にあたる15万株、7億円上限の自社株買いを3月31日まで実施している。