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2023/6/27 10:41
(6502) 東芝 世界初の小型センサー、3種以上の混合ガス濃度を瞬時に測定
東芝は、二酸化炭素(CO2)や水素(H2)、一酸化炭素(CO)などのガスを3種類以上含む混合ガスの濃度を、実環境でリアルタイムに測定できる小型のセンシング技術を世界で初めて開発した。混合ガスの濃度測定に用いられてきたガスクロマトグラフィーと比較して、1/200以下の装置サイズと、150倍以上速い1.7秒の測定速度を実現した。今までCO2の量は正確に測ることができず概算で算出していたが、この技術で正確なCO2量がリアルタイムで測定できるようになる。
MEMS技術によって、感度が異なる2つの熱伝導型ガスセンサーを一括形成した数mmオーダーの超小型チップを開発した。このセンサーとガス導入用ノズル、および専用回路を実装したセンサーモジュールを製作した。東芝は、センサーの構造やアルゴリズムの最適化を進め、2026年ごろの実用化を目指す。
MEMS技術によって、感度が異なる2つの熱伝導型ガスセンサーを一括形成した数mmオーダーの超小型チップを開発した。このセンサーとガス導入用ノズル、および専用回路を実装したセンサーモジュールを製作した。東芝は、センサーの構造やアルゴリズムの最適化を進め、2026年ごろの実用化を目指す。