株テーマ：ナノインプリントの関連銘柄
キヤノンはキオクシアと「型」を半導体ウエハーに押しつけて回路パターンを形成する「ナノインプリント」技術を共同開発しているが、大日本印刷が加わり、ＥＵＶ（極端紫外線）露光の消費電力を10分の1に抑制する。産業技術総合研究所は2ナノメートル以降の前工程製造装置の開発に、キャノン、ＳＣＲＥＥＮ ＨＤ、東京エレクトロンの3社を選定している。東洋合成工業は、光硬化性樹脂PAK-01を国内初のUVナノインプリント（UV-NIL）専用樹脂として開発した。ＥＮＥＯＳ機能材カンパニーは独自のナノインプリント技術と金属配線形成のノウハウで、高透明・低抵抗な透明導電フィルムを開発している。
50層を露光する最先端半導体では、EUV露光を使うのは2〜3層、ArF液浸露光を使うのは最大10層を使用するという。キヤノンはi線露光装置で8割、KrF露光装置で3割弱の台数シェアがあるようだ。後工程（パッケージング工程）向けのi線露光装置では、市場を独占しているという。
