東京エレクトロンは、2021年3月25日、山梨県に新開発棟を建設すると発表した。投資額は約110億円。2021年9月に着工し、2023年春の竣工を予定する。用途は、成膜装置や半導体製造装置、パターニング技術、プロセスインテグレーションの開発としている。

デジタル社会への移行による技術革新で、半導体やフラットパネルディスプレイの市場拡大が予想されることから、技術開発力をさらに強化する。

東京エレクトロンの株価は660円安の43590円で推移している。