自動車の減産を招いている車載用半導体の供給不足が、既存装置の改造サービスを増加させている。東京エレクトロンの装置改造を含むＦＳ（フィールドソリューション）事業は10－12月期に7－9月期比で14.5％増加している。半導体メーカーにとって新規装置導入には時間がかかるため、自動車メーカーの増産要求に対して、装置改造で対応しているようだ。ＦＳ事業が売上高全体に占める割合は約3割で、部品交換などのアフターサービスが中心のため、利益率が高い。

ＳＣＲＥＥＮ ＨＤも半導体洗浄装置の中古機販売事業に参入しており、コーターデベロッパーから、主力の洗浄装置までを取り扱い、中古事業の売上比率を20％から25％へ引き上げるようだ。中古機は中国勢が買い漁ったようだが、減価償却の終わった装置を買い取り販売する道はまだ残っている。ＥＵＶ向けの最先端装置が稼ぎ頭であることはもちろんだが、収益機会はさらに広がっている。