東京エレクトロンは、東京エレクトロン九州（熊本）にコータ/デベロッパ、サーフェスプレパレーションなど半導体製造装置の新開発棟を建設する。新開発棟は2023年春の着工、2024年秋の竣工を予定しており、建設費用は約300億円。半導体製造装置は、パターニング技術の進化とともに技術革新が続き、今後も大きな成長が見込まれている。コータ/デベロッパは、ウエハーに感光剤を塗って現像するもので、東京エレクトロンの主力製品。熊本はＴＳＭＣがソニーグループと新工場を建設するなど、半導体投資が活発となっている。