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2022/2/16 10:34
韓国のケムトロニクスが、日本が対韓輸出管理強化をとった品目に一つであるEUV用フォトレジストの原料となる「プロピレングリコールメチルエーテル酢酸(PGMEA)」を超高純度(純度99.999%)で生産することに成功した。ケムトロニクスは製造法の特許申請を行い、約200億ウォン(約20億円)を投じて、2022年年末をめどにPGMEA製造工場を立ち上げるとしている。これまでは日本と中国から輸入していた。
日本が輸出管理を強化して以来、韓国は主要部材の国産化を進めていたが、EUVに対応するPGMEAは最も難しい技術の一つとされてきた。日本企業が核心技術の技術特許を多く押さえてきたが、量産化するとなると、日本の素材メーカーの脅威となりそうだ。
日本が輸出管理を強化して以来、韓国は主要部材の国産化を進めていたが、EUVに対応するPGMEAは最も難しい技術の一つとされてきた。日本企業が核心技術の技術特許を多く押さえてきたが、量産化するとなると、日本の素材メーカーの脅威となりそうだ。