アンリツ先端技術研究所が、水素プラズマエッチング技術を用いた、グラフェンのナノスケール微細加工技術の確立に成功した。グラフェンは、電気伝導性、機械強度に非常に優れる材料で、鋼鉄の200倍もの強度があり、髪の毛の100万分の1も薄いと言われる。アンリツは、小型、高感度で、消費電力の小さいセンサーデバイスの開発を目指している。

ナノメートル（10億分の1メートル）スケールのデバイスで、水素プラズマエッチング技術で加工し、グラフェンの作製に成功した。将来の６Ｇで活用できるナノデバイスの実現を目指す。