韓国メディアの報道で、昨年末現在のＡＳＭＬ製のＥＵＶ露光装置の保有台数が、台湾ＴＳＭＣの45－50台に対して、韓国サムスン電子は25台に留まることが明らかになった。サムスン電子の李副会長は昨年10月にＡＳＭＬ本社を訪問し、20台を注文したといわれるが、最新チップの製造は台湾ファウンドリーに集中しており、思うように調達できない状態が続いている。サムスン電子のほかにも、インテル、マイクロン、ＳＫハイニックスが発注しており、ＥＵＶ露光装置の争奪戦は当分続きそうだ。

ＥＵＶ露光装置はＡＳＭＬ、ＥＵＶマスク検査装置はレーザーテック、コータ/デベロッパ装置は東京エレクトロンという構図は当面崩れそうもない。